https://youtu.be/7jqVuqVQvvA
プラズマ（電離気体, 英: plasma）は、固体・液体・気体に次ぐ物質の第4の状態である。狭義のプラズマとは、気体を構成する分子が電離し陽イオンと電子に分かれて運動している状態であり、電離した気体に相当する。狭義のプラズマは、プラズマの3要件をみたす。広義には、プラズマの3要件を一部みたさず、非中性プラズマ、強結合プラズマ（微粒子プラズマ、固体プラズマ）を含む。
温度が上昇すると、物質は固体から液体に、液体から気体にと状態が変化します。気体に熱や電気エネルギーを加えると、気体の分子が解離して原子になり、さらに温度が上昇すると原子核のまわりを回っていた電子が原子から離れ、(この現象を「電離」といいます)中性分子とプラスイオン、マイナスイオンが混在した非常に活性化した状態になります。これが物質の第4の状態とも言われる「プラズマ」です。
身近なところでいえば各種ライト、炎や雷もプラズマであり、宇宙空間の99%以上がプラズマであるといえます。
このように、プラズマとは我々の生活とは切り離せない存在なのです。
プラズマでできること
プラズマは他の状態にくらべ、非常に反応性が高くなっている状態です。この特性を活かして、プラズマは様々な産業に活用されています。
例えば、ナノメートル(10億分の1メートル)単位の穴や溝を掘ることや、膜をつけることに適しています。反応性の高い状態のメリットとして、各種の処理を素早く進めることができ、半導体集積回路の生産工程で多用されています。半導体以外にも微細加工、薄膜合成、表面改質、除害、殺菌・滅菌・消毒など産業の各分野で活用されています。
堀場エステックではプラズマのコンディション変動を発光の変化として捉え、最適な条件をモニタすることで歩留まり向上、品質向上を達成することができます。
プラズマのコンディション管理についてお悩みではないでしょうか？
プラズマ発光モニタEV-140Cはエッチングガスや副生成物由来のプラズマ発光をモニタすることにより、その変化からエッチングのエンドポイントをリアルタイムに検出することが可能です。また多彩なソフトウェアを組み合わせて使用することで..
プラズマ そもそも私たちを取り囲んでいる物体は、学校では３つの状態（固体、液体、気体）に分けられると教えられました。
例えば、水なら、固体なら氷、液体なら水、気体なら水蒸気と温度によって形態が変わります。
でも、実はこれら３つの状態のほかに、４つめの状態があるんです。
それが「プラズマ」です。
固体でも液体でも、気体でもない状態といわれても、ピンとこないかもしれませんが、意外なほど私たちはプラズマを目にしているんです。
古来から、風が吹き雷が轟くのは天と地の間に、空を駆け巡るこの２神がいるのだと人々は信じ、自然を司る神として世界中の各所で描かれてきました。浅草の雷門は正式には風雷神門と呼ばれ、この２体の彫刻が門の左右に納められているのをご存知ですか？琳派の祖、俵屋宗達が描いた風神雷神は尾形光琳をはじめ日本の画家たちの憧れのデザインとして学びの中で模写され続けてきました。