マシニング加工の佐々木工機株式会社のブログ

川崎市高津区でマシニングセンター、NC旋盤等の部品加工を行う経営革新計画承認企業のブログ

非接触厚さ測定装置 OZUMA CL のご紹介

2024-02-27 08:18:38 | 非接触厚さ測定装置O...

半導体用ウエハー(Siシリコンウエハー・GaAs・ガリウム砒素Ga)砒素(As))・ガラス・金属等の高精度非接触厚さ測定装置(非接触厚み測定装置)のOZUMAシリーズに新しいラインアップが加わりました。非接触厚さ測定装置OZUMA CLは、半導体用ウエハー(Siシリコンウエハー・GaAs・ガリウム(Ga)砒素(As))等の裏面研磨工程における厚さ(厚み)管理用として、あるいは各製造工程における厚さ(厚み)管理用として非接触測定で御使用いただけます。 

OZUMA CL デモ動画


<用途>

半導体用ウエハー(各種材料)シリコンSi.GaAsガリウム砒素等、金属・化合物等の高精度非接触厚さ測定(非接触厚み測定)

<特徴>

1.レーザー方式 により非接触厚さ測定(非接触厚み測定)が可能が可能で キズ・コンタミ等のダメージを与えない
2.高精度の非接触厚さ測定(非接触厚み測定)が可能
3.繰り返し厚さ・ソリ・平行度等の測定ができます。
4.上下に対向配置されたレーザーセンサーヘッドで測定するため被測定物の"ソリ"による浮き上がりに影響されにくく厚さを正確に測定できます。
<性能>

  分解能      0.01μm
 
  測定範囲    max.10mm
  供給エネルギー  電源 AC100V 50/60Hz 3A

  重量:約10kg
           


<基本構成>
非接触厚さ測定装置(非接触厚み測定装置)の標準機は、次の機器がセットになっています。
① 非接触厚さ測定装置(非接触厚み測定装置)本体・・・・・・・・・・・・・・ 1式
② 測定テーブル(載物台)・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
③ 制御BOX(別置き型)・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
④ 手元操作スイッチBOX・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式

⑤ 表示器(7"カラー液晶タッチパネル) 又は 計測制御用パソコン・・・・・・・・・・1式
⑥ 接続ケーブル類・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
⑦ 校正ゲージ (厚さご指定)・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・1個
⑧ 計測制御用標準ソフト・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
用途に応じ 上記の他 オプション品の選択が可能です。 


お問合せは佐々木工機株式会社まで


マシニング加工の佐々木工機株式会社オフィシャルホームページ



最新の画像もっと見る

コメントを投稿