最近よく半導体の加工線幅2ナノとかが
ニュースで聞くことがある。
もともと最小加工線幅と言えば、mos
トランジスタのゲート長を意味していた。
(2010年頃まで)このタイプのmosトランジスタ
をプレーナ型と呼び、ゲート長は22ナノメータ
だった。その後さらに微細化が進んだが、
ゲート長をこれ以上短くするとmosトランジスタ
が動作しないので、ほかの部分の寸法を
微細化し、その代表寸法でｘｘナノメータ
プロセスなどと呼ぶようになったという。
具体的にどこの寸法を測定しているのかは
公表されていない。
でも一応メモリファウンドリではM1メタル配線ピッチ
の/1/2の距離を最小加工線幅と決めている。
普通の人はM1メタル配線とは何と思うはず
ですが、知りたかったら調べてみて。
CPUなどのロジックICメーカについては
現在調べてます。
