旧バージョンからのアップデートプロジェクトに発生。
Delphiコンパイラ-コンパイル-デバック-デバッグ情報
これを

こう直す(【デバッグ情報】に変更)。

ターゲットは全てにする事。
XE5からの現象。
この記事で解決した。
プロジェクトコンパイル時に「[警告] W1030 間違ったコンパイル指令 : 'true'」が出力される
なんでこういうところ替えるかね。。。。嫌がらせ??
後もう一つ。
64Bitでデバッグする場合は、日本語フォルダを使用してると駄目。
勿論プロジェクト名も駄目。
32bitでは大丈夫なんだけど。。。
これで2時間ほどハマった。。。。orz
32bit-64bit両刀使い(同一dproj管理)の場合は要注意!!!
追記-2014/06/03-
上記を対策しても出来ない場合はこれ

なぜか上記設定しなくてもデバッグ出来る事もある。う~ん違う設定があるのかな。。。。
参考URLここやここ
追記-2014/06/04-
IDE上から「プロジェクトを開く」でプロジェクトアップデートを行うと現象は出ない?
上記の設定しなくても問題なくデバッグ出来る。
う~~ん、なんだかなぁ~