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四日市で工場爆発、５人死亡…熱交換器の解体中(読売新聞) - goo ニュース
マテリアル四日市工場(三重県)で製造される多結晶シリコンは、携帯電話、PC等多様な製品に組み込まれる半導体基板の原料であり、海外から輸入した粉状の金属シリコンを化学反応させて製造する物で、化合物「トリクロロシラン」を蒸留塔での蒸留を繰り返し不純物を除去し、水素ガスを加え熱分解で固形のソレを作り、未反応の排出ガスは循環させて再利用するが、ソノ過程で温度調節に使用する熱交換器を取り外して洗浄する作業中、発生したとされる９日の爆発は(以上毎日新聞)、重量２００キロの蓋を１０メートル吹き飛ばす爆風を生み、吹き飛ばされて壁などに打ち付けられた従業員５人は、ほぼ即死だったそうで、他にも１２人が重軽傷を負った「水素爆発」とは、設備内部に残ったトリクロロシランから分解して発生した水素が原因との推測から報道されて居る物だ。