エンジン用水素フリーDLCバルブリフターに関するPDFはこちらです。
製造装置として、アークイオンプレーティング法が記載されています。この方法の難しいところは、グラファイトターゲットが水分を吸いやすく、そこに水が含まれていると、アークを当てた時に、水分が蒸発して出てきます。これがプラズマ中で分解すると水素となり、膜中に混入します。水素が入ると、DLC膜の硬さがいっきに落ちます。さらに、水分は真空炉の壁面からも出てきます。そのため、メンテナンスで真空炉を大気暴露するときには、空気中の水分が真空炉の壁面にこびりつかないように細心の注意を払います。
製造装置として、アークイオンプレーティング法が記載されています。この方法の難しいところは、グラファイトターゲットが水分を吸いやすく、そこに水が含まれていると、アークを当てた時に、水分が蒸発して出てきます。これがプラズマ中で分解すると水素となり、膜中に混入します。水素が入ると、DLC膜の硬さがいっきに落ちます。さらに、水分は真空炉の壁面からも出てきます。そのため、メンテナンスで真空炉を大気暴露するときには、空気中の水分が真空炉の壁面にこびりつかないように細心の注意を払います。