27年夏に宮城にプラズマエッチング装置を生産する新棟を設ける
東京エレクトロンは6日、宮城県に半導体製造装置の生産新棟を建設すると発表した。2025年夏に着工し、27年夏の完成を見込む。建設費用は約1040億円。
半導体の材料であるウエハー上に回路を形成するプラズマエッチング装置などを造る。新棟建設で生産能力は29年3月期に足元の1･8倍、将来的に3倍まで増やす。
子会社の東京エレクトロン宮城（宮城県大和町）に生産新棟を設ける。同社はプラズマエッチング装置の主力工場。新棟は地上5階建てで、延べ床面積は約8万8600平方メートル。従業員数は29年3月期に1100人、将来は1400人まで増やす計画だ。
エッチング装置は米半導体製造装置大手ラムリサーチが世界シェアの約4割を握る。東京エレクトロンは追い上げに取り組んでいる。東京エレクトロン宮城ではプラズマエッチング装置の開発を担う第3開発棟も建設しており、25年春に完成を見込む。
パソコンやスマホの半導体や、電気自動車（EV）に使われるパワー半導体とは。TSMCやラピダス、キオクシアなどのメーカーの動向や供給不足、シェア推移など関連業界や市場の最新ニュース・解説をタイムリーに発信します。
続きを読む
日経記事2025.2.6より引用
