装置に搭載する電源の数を減らせ、設計の自由度が増す
TDKは24日、半導体製造装置向けに電力の出力を3倍に高めた電源を開発した。電流を交流から直流に変換するのに使う。
周波数を安定させ、電力損失を減らした。自動搬送機向けの中型リチウムイオン電池の充電機器としても活用できる。5年後に年10億円の販売額を目指す。
販売を始めた「HWS-Gシリーズ」の出力は3000ワットと、従来製品の同じサイズで3倍に高めた。
周辺の電子部品の機能を半導体で代替できるようにし、周波数を安定させられるようにした。TDKラムダ（東京・中央）が長岡テクニカルセンター（新潟県長岡市）で生産し、販売する。
半導体製造装置によっては電源の数を3分の1に減らせるという。電流を整えるのに使う部品の数も2割減らせる。
製造装置メーカーは製品コストを抑えられるうえ、設計の自由度も高められる。
パソコンやスマホの半導体や、電気自動車（EV）に使われるパワー半導体とは。TSMCやラピダス、キオクシアなどのメーカーの動向や供給不足、シェア推移など関連業界や市場の最新ニュース・解説をタイムリーに発信します。
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日経記事2024.06.24より引用
