US9535010
[0005] Inspection processes are used at various steps during a semiconductor manufacturing process to detect defects on wafers to promote higher yield in the manufacturing process and thus higher profits.
【0003】
検査工程は半導体製造工程中の様々な段階で、ウェハの欠陥を検出し、製造工程の歩留まりの向上及び、ひいては利益の増大を促進するために利用される。
Inspection has always been an important part of fabricating semiconductor devices.
検査は常に、半導体装置製造の重要な部分を占めてきた。
However, as the dimensions of semiconductor devices decrease, inspection becomes even more important to the successful manufacture of acceptable semiconductor devices because smaller defects can cause the devices to fail.
しかしながら、半導体装置の微細化に伴い、より小さい欠陥が装置の故障の原因となりうるため、容認可能な半導体装置の製造を成功させるうえで、検査はますますその重要性を増している。
US10670391
For those methods that employ a spatial light modulator (SLM), a computer is required to control the SLM and its resolution
空間光変調器(SLM)を採用する方法では、コンピュータがSLMおよびその分解能を制御する必要があり、
and the generation of angular displacement is limited by the SLM screen being pixelated and the finite range of the phase change of the SLM.
角度変位(angular displacement)の生成は、画素化されるSLMスクリーンおよびSLMの位相変化の有限範囲によって限定される。
With these challenges, there is no clear way to miniaturize the system, while maximizing the precision of the angle measurement without further complicating the optical system design.
これらの難題があるため、光学システムの設計を更に複雑化することなく、角度測定の正確度を最大限高めつつ、システムを微細化する明確な方法がない。
US10401305
[0003] Generally, the industry of semiconductor manufacturing involves highly complex techniques for fabricating integrating circuits using semiconductor materials which are layered and patterned onto a substrate, such as silicon.
【0003】
一般に、半導体製造産業では、シリコンなどの基板に積層およびパターン化される半導体材料を利用して集積回路を製造するための高度に複雑な技術が使用される。
Due to the large scale of circuit integration and the decreasing size of semiconductor devices, the fabricated devices have become increasingly sensitive to defects.
大規模な回路集積および半導体デバイスの微細化により、製造されるデバイスは、欠陥の影響を益々受けやすくなっている。
That is, defects which cause faults in the device are becoming increasingly smaller.
換言すれば、デバイスの不良を招く欠陥が、益々小さくなっている。
The device is fault free prior to shipment to the end users or customers.
エンドユーザまたは顧客に出荷される前のデバイスには、欠陥がない。