US2011075138
"1. An objective configured to inspect a specimen using at least one dark-field inspection technique, the objective comprising:
an outer element furthest from the specimen and comprising an outer element partial reflective surface oriented toward the specimen;
an inner element nearest the specimen comprising an inner element partial reflective surface oriented away from the specimen; and
a central element positioned between the outer lens and the inner lens;
wherein at least one of the outer element, inner element, and central element comprises an aspheric surface, and further wherein the inner element is spatially configured to facilitate dark-field inspection of the specimen."
少なくとも1つの暗視野検査技術を使用して、試料を検査するよう構成された対物光学系であって、 前記試料の方向に向いた外側要素部分反射性表面を有し、かつ、前記試料から最も遠い位置に配置された外側要素と、 前記試料から離れる方向に向いた内側要素部分反射性表面を有し、かつ、前記試料に最も近い位置に配置された内側要素と、 外側レンズ及び内側レンズの間に位置する中央要素と、を備え、 前記外側要素、前記内側要素及び前記中央要素のうち、少なくとも一つの要素は、非球面の表面を有し、 前記内側要素は、前記試料の暗視野検査を容易にするよう、空間的に構成された 対物光学系。
WO2012143702
"22. A microscope comprising:
the acousto-optic lens of any one of the preceding claims; and
objective optics. "
請求項1から21のいずれか一項に記載の音響光学レンズと、対物光学系とを備える顕微鏡。
US2010117628
"13. A variable power objective optical system using no axially moving groups, comprising: at least two variable power optical components that together provide zoom function with a fixed image surface, the variable power optical components comprising at least two liquids with different refractive properties and at least one contact surface between the two liquids, wherein the shape of the contact surface is varied to produce a change of optical power in the variable power optical component; and at least one variable power optical component comprising at least two liquids with different refractive properties and at least one contact surface between the two liquids, wherein the shape of the contact surface is varied to at least partially compensate for changes in variation of a chief ray angle approaching an image point on the image surface caused at least in part by variable power optical component that provides a zoom function."
軸方向に移動する群を使用しない可変屈折力対物光学系であって、 固定の像表面に対して合わせてズーム機能を提供する少なくとも2つの可変屈折力光学部品であって、異なる屈折特性を持つ少なくとも2つの液体と、前記2つの液体の間の少なくとも1つの接触表面とを含み、前記接触表面の形状は、前記可変屈折力光学部品において屈折力の変化を生じるために変更される、少なくとも2つの可変屈折力光学部品と、 異なる屈折特性を持つ少なくとも2つの液体と、前記2つの液体の間の少なくとも1つの接触表面とを含む少なくとも1つの可変屈折力光学部品であって、前記接触表面の形状は、少なくとも一部には、ズーム機能を提供する可変屈折力光学部品によって引き起こされた、前記像表面上の像点に向かう主光線角度の変動の変化を少なくとも部分的に補償するために変更される、少なくとも1つの可変屈折力光学部品と、 を備える可変屈折力対物光学系。