US10146041
As shown in FIG. 4, the sharpness curve can have a maximum measured sharpness (e.g., a relative sharpness value of 70 in FIG. 4) at a given relative Z position (e.g., Z position 130 )(that can be referred to as the in-focus position)
図4に示すとおり、鮮鋭度曲線は所定の相対Z位置(例えば、Z位置130)(合焦位置ということがある)において最大測定鮮鋭度(例えば、図4における相対鮮鋭度値70)を有し、
and may decrease symmetrically on each side of the in-focus position (e.g., Z position 130 ).
合焦位置(例えば、Z位置130)の各側で対称的に減少することがある。
US10677588
[0003] An overlay metrology system is disclosed in accordance with one or more illustrative embodiments of the present disclosure.
【0005】
本件開示の1個又は複数個の例証的実施形態に従いオーバレイ計量システムが開示される。
In one illustrative embodiment, the system includes a controller communicatively coupled to a telecentric imaging system
ある例証的実施形態に係るシステムは、テレセントリック撮像システムに可通信結合されたコントローラを有する;
including one or more cameras configured to capture images through an objective lens at two or more focal positions.
そのテレセントリック撮像システムは、2個以上の合焦位置にて対物レンズ経由で像を捉えるよう構成された1個又は複数個のカメラを有するものとする。
US10623627
[0090] In other words, the best focal position of a specific feature is acquired and this is used to populate the streamed enhanced image that is being generated.
【0065】
言い換えると、特定の特徴構造の最良合焦位置が取得され、これが、生成されているストリーム化された向上された画像に移植するために用いられる。