US2008213496(APPLIED MATERIALS INC)
[0009] A film of Al2O3, or Al2O3 and Y2O3, has been formed on an inner wall surface of the chamber and on those exposed surfaces of the members within the chamber which require a high corrosion resistance and insulating property.
【0007】
高いコロージョン耐性及び絶縁性を必要とするチャンバの内壁表面及びチャンバ内の部材の露出面上にはAl2O3の又はAl2O3とY2O3との膜が形成される。
In an exemplary application, a base material of the chamber may be a ceramic material (Al2O3, SiO2, AlN, etc.), aluminum, or stainless steel, or other metal or metal alloy, which has a sprayed film over the base material.
模範的な応用例において、チャンバの母材はセラミック材料(Al2O3、SiO2、AIN等)、アルミニウム、ステンレススチール、その他の金属又は金属合金であり、母材上に溶射膜を有する。
EP2038448(PRAXAIR TECHNOLOGY INC [US])
High purity yttria or ytterbia stabilized zirconia powders are provided
that are capable of achieving thermal sprayed coatings
having a density greater than 88% of the theoretical density with a plurality of vertical macrocracks substantially homogeneously dispersed throughout the coating in which a cross-sectional area of the coating normal to the substrate exposes a plurality of vertical macrocracks extending at least half the coating thickness in length up to the full thickness of the coating
【0032】
基体に対して垂直な被膜の断面積が、被膜の全厚に一致する長さの少なくとも半分の被膜厚まで伸びている複数の垂直マクロ亀裂を露呈する、被膜全体に実質的に均質に分散した複数の垂直マクロ亀裂を伴う、理論密度の88%を超える密度を有し
and having from about 5 to about 200, preferably from about 20 to about 200, more preferably from about 40 to about 100, vertical macrocracks per linear inch measured in a line parallel to the surface of the substrate and in a plane perpendicular to the surface of the substrate.
且つ基体の表面に対して平行な線で、基体の表面に対して垂直な面で測定した、長さ1インチ当たり約5~約200、好ましくは、約20~約200、更に好ましくは、約40~約100の垂直マクロ亀裂を有する
溶射膜を達成することができる
高純度イットリア又はイッテルビア安定化ジルコニア粉末が提供される。
US8871312(APPLIED MATERIALS INC [US])
[0010] A film of Al2 O3 , or Al2 O3 and Y2 O3 has been formed on an inner wall surface of a processing chamber and on those exposed surfaces of the members within the chamber which(*離れた関係代名詞の先行詞)require a high corrosion resistance and insulating property.
【0007】
Al2O3又はAl2O3とY2O3のフィルムは、処理チャンバの内壁、及び高耐食性及び絶縁特性を必要とするチャンバ内の部材の露出表面に形成されてきた。
In an exemplary application, a base material of the chamber may be a ceramic material (Al2 O3 , SiO2 , AlN, etc.), aluminum, or stainless steel, or other metal or metal alloy, which has a sprayed film over the base material.
一例の用途において、チャンバの母材は、セラミック材料(Al2O3、SiO2、AIN等)、アルミニウム、ステンレス鋼、或いは他の金属又は金属合金であり、母材の上に溶射膜がある。
The film may be made of a compound of a III-B element of the periodic table, such as Y2 O3
膜は、Y2O3等の周期表のIII-B族元素の化合物で作製されている。
The film may substantially comprise Al2 O3 and Y2 O3 .
膜は、Al2O3とY2O3を実質的に含む。
A sprayed film of yttrium-aluminum-garnet (YAG) has also been mentioned. Examples of a sprayed film thickness range from 50 μm to 300 μm.
イットリウム-アルミニウム-ガーネット(YAG)の溶射膜についても既に述べられている。溶射膜の厚さは、例えば、50μm~300μmである。