US2018053801
"12. A sensor device comprising:
a carrier comprising a plane carrier surface;
a plurality of photodetectors arranged on the carrier surface, each photodetector comprising a photosensitive sensor area, which is distant from the carrier surface; and
a lens arrangement arranged opposite the sensor areas, wherein the lens arrangement comprises an optical axis, wherein the lens arrangement is configured to image electromagnetic radiation onto the sensor areas,
wherein the plurality of photodetectors comprise at least one first photodetector having a first sensor area, the first sensor area comprises at least one property which differs from a property of a second sensor area of a second photodetector of the plurality of photodetectors, and wherein the second photodetector is arranged closer to the optical axis than the at least one first photodetector in order to reduce an optical imaging aberration of the lens arrangement."
センサ装置(501,1001)であって、- キャリア(503)であって、 - 平面状のキャリア表面(507)を有し、 - 前記キャリア表面に多数の光検出器(505,701)が配置されており、 - 前記光検出器それぞれが、前記キャリア表面(507)から離れた側である感光性センサ領域(509)を備えている、 前記キャリア(503)と、- 前記センサ領域(509)上に電磁放射を光学的に結像させるための、前記センサ領域(509)に向かい合って配置されておりかつ光軸(105)を備えているレンズ系(101)であって、したがって前記レンズ系(101)が前記センサ領域(509)上に電磁放射を結像させることができる、前記レンズ系(101)と、 を備えており、- 前記レンズ系(101)の光学的な結像収差を低減する目的で、前記多数の光検出器(505,701)が、少なくとも1つの光検出器(505,701)を備えており、前記少なくとも1つの光検出器の前記センサ領域(509)が、前記多数の光検出器(505,701)のうち、前記レンズ系(101)の前記光軸(105)を基準として前記少なくとも1つの光検出器(505,701)よりも前記光軸(105)の近くに前記キャリア表面(507)に配置されている光検出器(505,701)、のセンサ領域(509)の特性(513,515,517,1003,1005)とは異なる少なくとも1つの特性(513,515,517,1003,1005)、を備えている、 センサ装置(501,1001)。
WO2015164117
"8. The laser scanner of Claim 6, wherein the energy detector includes an array of pixels and the second lens is configured to image the first wavelength of electromagnetic energy onto the array of pixels. "
請求項6記載のレーザスキャナであって、上記エネルギ検知器が画素のアレイを有し、上記第2レンズが、第1波長の電磁エネルギをそれら画素のアレイ上に結像させるよう構成されているレーザスキャナ。
WO2015153774
"11. An illumination system comprising:
an EUV light source;
an illumination optical system;
a projection optical system; and
a photo-mask comprising a cordierite ceramic material, wherein the illumination optical system is configured to receive EUV light from the light source and redirect the EUV light onto the photo-mask, and wherein the projection optical system is configured to receive EUV light reflected from the photo-mask and image the reflected EUV light onto an object located at an image plane of the projection optical system. "
照明システムであって、 極紫外線(EUV)光源と、 照明光学系と、 投影光学系と、 コーディエライトセラミックス材料を有するフォトマスクと、を備え、 前記照明光学系は、前記極紫外線光源から極紫外線光を受け取り、前記極紫外線光を前記フォトマスクへと方向転換させるように構成され、 前記投影光学系は、前記フォトマスクから反射された極紫外線光を受け取り、反射された前記極紫外線光を前記投影光学系の結像面に位置付けられた物体上に結像させるように構成される、照明システム。
WO2015131281
"13. A filter system for use in an imaging system, having a system aperture and an optical system to image an object onto an image plane, the filter system being between the system aperture and the image plane, the filter system comprising:
a filter having
a first filter region in a center of the filter, the first filter region to transmit first and second wavelength ranges;
a second filter region to transmit the first wavelength range and block the second wavelength range; and
an adjuster to alter an effective size of the first filter region in the filter system. "
イメージングシステムで用いられるフィルタシステムであって、前記イメージングシステムはシステム開口とオブジェクトを像平面に結像させる光学システムとを有し、該フィルタシステムは前記システム開口と前記像平面との間に設けられ、前記フィルタシステムはフィルタを備え、前記フィルタは、 前記フィルタの中央に設けられた第1フィルタ領域であって第1波長範囲および第2波長範囲を通す第1フィルタ領域と、 前記第1波長範囲を通し、かつ前記第2波長範囲を遮る第2フィルタ領域と、 前記フィルタシステムにおける前記第1フィルタ領域の有効サイズを変えるアジャスタと、を有するフィルタシステム。
WO2015017300
"1 1. The OCT optical probe component according to claim 1, wherein: said rod is an optically transparent spacer rod having a first end,
said optical component further comprising a lens is optically coupled to the rod, said lens having said surface with the inner zone a, and the outer zone b, wherein said inner zone corresponds to a focal length fl a, and said outer zone is associated with the focal length f , and said optical probe is capable of imaging via said lens at multiple image surfaces an object adjacent to the first end of said spacer rod, wherein at least two images are separated by a distance d, wherein d> 1 mm. "
前記ロッドが第1の末端を有する光学的に透明なスペーサロッドであり、 前記光コンポーネントが前記ロッドに光結合されているレンズをさらに有し、 前記レンズが、前記内域a及び前記外域bをもつ前記表面を有し、 前記内域が焦点距離f1aに対応し、前記外域に焦点距離f1bが付随し、 前記光プローブが前記スペーサロッドの前記第1の末端に隣接する物体を、前記レンズを介して、複数の像面に結像させることができ、 少なくとも2つの像が距離dで隔てられ、d>1mmである、ことを特徴とする請求項1に記載のOCT光プローブコンポーネント。