波長分散する

US9945655(UNIV OF HUDDERSFIELD [GB])
[0006] An embodiment of the present invention provides an interferometer apparatus comprising: a short coherence length light or broadband light source;
【０００６】
  本発明の一実施形態は、短いコヒーレンス長光源又はブロードバンド光源と；

a light director to direct light from the light source along a measurement path to a surface of a sample and also along a reference path to a reference surface;
前記光源からの光を試料の表面への測定経路に沿ってしかも基準表面への基準経路に沿って導く光導波器と；

a wavelength disperser to cause wavelength dispersion of light along the measurement or the reference path;
前記測定経路及び前記基準経路の一つに沿った光を波長分散する波長分散器と；

a combiner to cause light from the sample surface and light from the reference surface to produce an interference pattern or interferogram;
試料表面からの光と基準表面からの光とを合成して、干渉パターンを生成させる結合器と；

a detector to detect intensity values of the interference pattern as a function of wavelength;
干渉パターンの光度値を波長の関数として検出する検出器と；

and a determiner to determine from the detected intensity values the wavelength at which the measurement and reference paths are balanced,
この検出した光度値から測定経路と基準経路とがバランスする波長を判定する判定器と；を備え、

wherein the wavelength disperser is at least one of: not an optical fibre wavelength disperser; and selected from the list comprising a grating wavelength disperser, a prism wavelength disperser, and an optical dispersive medium.
波長分散器は、光ファイバ波長分散器でなく、および／または格子波長分散器、プリズム波長分散器、および光学分散媒体のリストから選択される。