WO2012019017
"In some embodiments the gas supply 141 may be configured to selectively provide gases to separate sections of the electrostatic chuck 150, for example, at an interface 216 between the disk 202 and substrate S or an interface 218 between the disk 202 and the thermal control plate 204."
「いくつかの実施形態では、ガス供給源141を、例えばディスク202と基板Sの間の接合面216、又はディスク202と熱制御板204の間の接合面204などの、静電チャック150の別個の区域に選択的にガスを供給するように構成することができる。」
WO2010132923
"5) An electrode assembly according to any one of the claims 1 to 4, wherein a join between each side of the at least one substrate portion and the substrate is perforated to allow the joins to be torn, thereby allowing the at least one substrate portion to be moved."
「前記少なくとも1つの基板部の各面と前記基板との接合面は、前記接合面が分離されるように穿孔されて、前記少なくとも1つの基板部が移動される、請求項1~4のいずれか1項に記載の電極アセンブリ。」
WO2010022066
"8. A material according to claim 2, wherein the non- woven fabric comprises a plurality of layers including an interface layer adjacent the interface with the film and an outside layer forming the first side of the sheet, wherein the hydrophilicity of the outside layer is less than the hydrophilicity of the interface layer."
「前記不織布は、前記フィルムとの接合面近傍の接合層と、前記シートの第1側面を形成する外部層を含む複数の層を有し、外部層の親水性は、接合層の親水性よりも低いことを特徴とする請求項2に記載の包装材。」
US2009200897
"22. The piezoelectric actuator module as defined by claim 15, wherein connecting faces of the material disposed the grooves or recesses on the actuator foot and/or the actuator head each have a corresponding toothing contour, which contours have a triangular, rectangular, curved, or pyramidal contour, or have intersecting, transverse, or longitudinal grooves for increasing the effective surface area."
「5. 前記アクチュエータ脚部(4)および/または前記アクチュエータ頭部(5)の前記溝(11;24)または前記切欠(14)と前記材料(12)との接合面は有効表面を増大するためにそれぞれ対応する鋸歯状輪郭(6,17,18)を有しており、該鋸歯状輪郭は縦方向、横方向または交差方向に三角形の溝、四角形の溝、円弧状の溝または角錐台状の溝を有する、請求項1から4までのいずれか1項記載のピエゾアクチュエータモジュール。」
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