Article 13, PCT

Article 13
Availability（入手の可能性）of Copy（写し）of the International Application to Designated Offices（指定官庁による）
(1)  Any designated Office may ask（要請することができる）the International Bureau to transmit to it a copy of the international application prior to the communication（の送達に先立って）provided for in Article 20（第二十条の）, and the International Bureau shall transmit such copy（その写しを）to the designated Office as soon as possible（できる限り速やかに）after the expiration of one year（一年を経過した後）from the priority date. 

(2)(a)  The applicant may, at any time（いつでも）, transmit（送付することができる）a copy of his international application to any designated Office.

(b)  The applicant may, at any time, ask（要請）the International Bureau to transmit a copy of his international application to any designated Office, and the International Bureau shall transmit such copy to the designated Office（その指定官庁に）as soon as possible.

(c)  Any national Office（いずれの国内官庁も）may notify（通告することができる）the International Bureau that it does not wish to receive （の受領を希望しない旨）copies as provided for in subparagraph (b)（（ｂ）の写し）, in which case（この場合には）that subparagraph（（ｂ）の規定は）shall not be applicable（適用しない）in respect of that Office（その国内官庁については）.

 

https://www.wipo.int/export/sites/www/pct/ja/docs/pct.pdf

Article 12, PCT

Article 12
Transmittal（送付）of the International Application to the International Bureau（国際事務局）and the International Searching Authority（国際調査機関）
(1)  One copy（一通）of the international application shall be kept（保持）by the receiving Office ("home copy（受理官庁用写し）"), one copy ("record copy（記録原本）") shall be transmitted to（送付され）the International Bureau, and another copy（他の一通）("search copy（調査用写し）") shall be transmitted to the competent（管轄）International Searching Authority referred to in（に規定する）Article 16, as provided in the Regulations（規則の定めるところにより）.

(2)  The record copy shall be considered the true copy（正本とする）of the international application.

(3)  The international application shall be considered withdrawn（取り下げられたものとみなす）if the record copy has not been received by（受理しなかった場合は）the International Bureau within the prescribed time limit（所定の期間内に）.

 

特許協力条約

足回り

WO2016123426
[0046] Plastisols in accordance with the invention are useful in the production of sheet stock or films, flooring, tents, tarpaulins, coated fabrics such as automobile upholstery, in car underbody coatings, in moldings and other consumer products. Plastisols are also used in medical uses such as blood bags and multilayered sheets and films, tubing, footwear, fabric coating, toys, flooring products and wallpaper. Plastisols typically contain 40 to 200 parts by weight, more typically 50 to 150 parts by weight, more typically 70 to 120 parts by weight, more typically 90 to 110 parts by weight of plasticizer per 100 parts of dispersed polymer particles. PVC plastisols are usually made from PVC that has been produced by emulsion polymerization.

本発明によるプラスチゾルは、自動車足回りコーティング、成形、およびその他の消費者製品におけるシート素材またはフィルム、フローリング、テント、ターポリン、自動車内装材のようなコーティングファブリックの作製に有用である。プラスチゾルは、血液バッグのような医療用途、多層シートおよびフィルム、チューブ、履物、ファブリックコーティング、玩具、フローリング製品、ならびに壁紙でも用いられる。プラスチゾルは典型的には、分散ポリマー粒子１００部に対して、可塑剤を４０～２００重量部、より典型的には、５０～１５０重量部、より典型的には、７０～１２０重量部、より典型的には、９０～１１０重量部含む。ＰＶＣプラスチゾルは通常、エマルジョン重合によって作られたＰＶＣから作られている。

US8565973(DE)
Different settings of a suspension may be required depending on the specific drive mode in order to ensure an optimal, safe driving behavior.

When the drive mode is changed, the settings of the suspension are often no longer favorable for the new drive mode. The driving safety of the motor vehicle is then diminished.

安定した最適走行挙動を保証するためには、自動車の足回り装置に関して、その時々の駆動方式に応じて異なるアライメント、足回り配列の調整が必要なことがある。
  駆動方式が変更されると、足回り装置に関する種々のアライメントの、変更以前の設定は、大抵は、変更後の駆動方式にとってはもはや好ましい設定ではなくなる。このような場合には、自動車の走行安定性が低減されることになる。

US2017144763
[0016] Described herein are various embodiments of a galley system for an aircraft configured to supply cooling air to a cart compartment of a galley monument, or simply galley, for cooling galley carts. Various embodiments provide cooling ducts of the galley system that are arranged to reduce a size or footprint of the galley monument, which may provide additional space in the passenger compartment, such as for adding additional room for passenger seating and/or additional leg room. Various embodiments provide an efficient cooling environment for the galley carts using an arrangement of supply and return ducts in the cart compartment to allow efficient air-over-cart cooling of the galley carts.

ギャレーカートを冷却するため、ギャレーモニュメントのカートコンパートメントへ（要するにギャレーへ）冷却空気を供給するように構成された、航空機用ギャレーシステムの様々な実施形態が、本明細書に記載される。ギャレーモニュメントのサイズまたは占有面積を縮小するように配設されたギャレーシステムの冷却用ダクトが、様々な実施形態によって提供される。こうしたギャレーシステムによって、乗客席用のさらなる余地、及び／またはさらなる足回りスペースを追加するなど、客室内にさらなるスペースが設けられ得る。様々な実施形態によって、ギャレーカートの効率的な「エア・オーバー・カート」式冷却を可能にする、カートコンパートメント内の供給ダクト及び戻りダクトの配設を用いた、ギャレーカート用の効率的な冷却環境が提供される。

切削加工物

WO2013088433
[0040] The reinforced portion 33 can further comprise a rake surface 36 formed in the insert peripheral surface 24 and over which chips (not shown) from a cut workpiece (not shown) flow, and can also comprise reinforced sidewalls 38 extending from the rake surface 36 and terminating at the intermediate portion 34.

[0040]補強部３３は更に、インサート周面２４に形成され、切削加工物（不図示）からの切り屑（不図示）がそれを越えて流れすくい面３６を含んでいてもよく、また、すくい面３６から延在し、中間部３４において終端する複数の補強側壁３８を含んでいてもよい。

[0041] Each rake surface 36 can lie in a plane perpendicular to the insert first and second sides 22A, 22B. The rake surface 36 can be formed with a chip-control arrangement 40. A chip control- arrangement means an arrangement configured for forming and/or directing and/or breaking a chip (not shown) of a workpiece. In this example, the chip-control arrangement 40 comprises a recess 42.

  [0041]各すくい面３６は、第１および第２のインサート側面２２Ａ、２２Ｂと垂直な平面に位置してもよい。すくい面３６は、切り屑処理編成４０と共に形成されてもよい。切り屑処理編成は、加工物の切り屑（不図示）を形成し、および／または、向け、および／または、破壊するために構成される編成を意味している。本実施例において、切り屑処理編成４０は、凹部４２を含んでいる。

US8388270
The slotting cutter 10 is provided with a plurality of cutting insert receiving pockets 20 formed about the perimeter of the cutter body 12. It will be appreciated that most any suitable number of pockets 20 may be formed about the perimeter of the cutter body 12, depending on the desired material of the work piece to be cut and the diameter of the cutter body 12. In the illustrated embodiment, the slotting cutter 10 includes seven pockets 20 equally spaced about the perimeter of the cutter body 12.

  溝フライス１０には、カッター本体１２の周囲に形成される複数の切削インサート受け入れポケット２０が設けられる。カッター本体１２の周囲に、被切削加工物の所要の材料およびカッター本体１２の直径に応じて、全く任意の適当な個数のポケット２０を形成し得ることが理解されるであろう。図示の実施形態では、溝フライス１０は、カッター本体１２の周囲に等間隔に配置された７個のポケット２０を有する。

逃げ面

WO2014076653
[0069] A similar simulation was later carried out with variation in the point angle with different helix angles. The results of this simulation are shown in Figure 3. The experiment was carried out at three different feed rates - a minimum, minimum +33%, and minimum +66%. These feed rates represent the speeds that different dentists using the tool in hand drilling applications may apply. Speed was maintained at a constant level. The results show that a point angle of about 130° gave the least increase in torque as the feed was increased. Because clearance angles are not expected to have an influence on torque, standard primary clearance angles are used. The clearance face will not come into contact with the bone during the drilling operation. As long as clearance is sufficient to avoid contact of parts of the point other than the cutting edge during drilling, values may vary. Table 1 below summarizes the point angle-helix angle combinations tested to determine optimum helix angle, per the graph of Fig. 3 showing the results.

  異なるねじれ角に伴う先端角の変動を伴って、類似のシミュレーションがその後に実施された。シミュレーションの結果は、図３に示されている。実験は、最小、最小＋３３％、および最小＋６６％という異なる３つの切削送り速度で実施された。これらの切削送り速度は、手動穿孔の利用分野で工具を使用する異なる歯科医が適用し得る速度を表わす。速度は、一定レベルに維持された。結果は、約１３０°という先端角が、切削送りの増大につれてのトルクの最小の増加を提供したということを示している。逃げ角はトルクに影響を及ぼさないと予想されることから、標準的な一次逃げ角が使用される。逃げ面が穿孔作業中に骨材と接触することはない。逃げ面が穿孔中に切れ刃以外のビット先端部の接触を回避するのに充分なものであるかぎり、値は変動してよい。下表１は、結果を示す図３のグラフによる、最適なねじれ角を決定するために試験された先端角－ねじれ角の組み合せをまとめている。

WO2016073259
[0041] As best shown in Fig.8, the bore-cutting edges 364 define a tip angle ^_TP with respect to a plane 374 that is perpendicular to the central axis 102. The tip angle ^_TP may be selected such that the tip end 110 has a relatively bunt feel so as to limit any damage that the tip end 110 might inflict on soft tissue in the event that the tip end 110 penetrates through the back side of the bone. As described above, the tip angle ^_TP, the number of bore-cutting edges 264, and the length of the bore cutting edges 264 may define, at least in part, how sharp or how blunt the tip end 110 of the tip 104 feels. A smaller tip angle ^_TP defines a tip end 110 that may feel blunter than a larger tip angle ^_TP. Further, a tip end having a larger number of bore-cutting edges, and hence a larger contact surface area, may have a blunter feel than a tip end having a smaller number of bore-cutting edges. It will be recognized that embodiments of the disclosure may have as few as one bore-cutting edge or more than one bore-cutting edge.

  図８に最もよく示すように、穿孔切れ刃３６４は、中心軸１０２に垂直である平面３７４に対して先端角θ_ＴＰを画定する。先端角θ_ＴＰは、先端末端部１１０が骨の裏面を貫通する場合に、先端末端部１１０が軟組織に与えることがある損傷を制限するために、先端末端部１１０が比較的鈍い感触を有するように選択されてもよい。上記のように、先端角θ_ＴＰ、穿孔切れ刃２６４の数、及び穿孔切れ刃２６４の長さは、先端１０４の先端末端部１１０がどの程度の鋭い又は鈍い感触を有するかを少なくとも部分的に画定してもよい。より小さい先端角θ_ＴＰは、より大きい先端角θ_ＴＰの場合よりも鈍い感触を有し得る先端末端部１１０を画定する。更に、より大きい数の穿孔切れ刃、したがって、より大きい接触表面積を有する先端末端部は、より少ない数の穿孔切れ刃を有する先端末端部よりもより鈍い感触を有し得る。本開示の実施形態は、唯１つの穿孔切れ刃又は２つ以上の穿孔切れ刃を有してもよいことが理解されるであろう。

[0043] Each lip-relief facet 360 extends on a trailing side of a land 352 at varying lip- relief angles ^_LR relative to the plane 374 and provides a clearance for the bone screw to purchase the bone. The lip-relief angles ^_LR vary between the inner cutting-edge end 366 and the outer cutting-edge end 368. In this embodiment, each lip-relief facet 360 has a concave curvature, although, in alternative embodiments, each lip-relief facet 360 may be planar or have a convex curvature. The lip-relief angle ^_LR measures the clearance behind the bore-cutting edge 364. Smaller lip-relief angles ^_LR may result in larger thrust forces, and consequently higher heat generation and increased wear. Excessively large lip-relief angles, on the other hand, may weaken the bore-cutting edge 364, increasing the likelihood that the bore-cutting edge 364 will chip during use.

 それぞれのリップ逃げ角小面３６０は、平面３７４に対して様々なリップ逃げ角θ_ＬＲでランド３５２の付随側に延在し、骨ねじが骨を捕捉するための逃げ面を提供する。リップ逃げ角θ_ＬＲは、内側切れ刃端部３６６と外側切れ刃端部３６８との間で変化する。この実施形態では、それぞれのリップ逃げ角小面３６０は、凹曲率を有するけれども、代替の実施形態では、それぞれのリップ逃げ角小面３６０は、平面であってもよく、又は凸曲率を有してもよい。リップ逃げ角θ_ＬＲは、穿孔切れ刃３６４の後方に逃げ面を測定する。より小さいリップ逃げ角θ_ＬＲは、より大きい背分力、したがってより大きい発熱及び摩耗増加をもたらす。他方、過大なリップ逃げ角は、穿孔切れ刃３６４を弱体化させて、穿孔切れ刃３６４が使用中に欠損する可能性を増加させることがある。

US2016263663
[0002] The present invention relates to a rotary tool, and more particularly to a drilling tool, which extends along a longitudinal axis and has a front end surface with a brad point, with a first major cutting edge extending outward up to an outer edge corner; and with a first free surface segment adjoining the major cutting edge; and with a second free surface segment adjoining said first free surface segment. The present invention also relates to a method of making a rotary tool.

【０００１】
  本発明は、縦軸に沿って延伸し、前側の正面に中心先端と、外側へ向って切れ刃コーナまで延伸する主切れ刃と、主切れ刃に隣接する第１逃げ面部分およびこれに隣接する第２逃げ面部分とを備える回転工具、特に穿孔工具に関する。
[0003] 2. Background Information

[0004] A rotary tool upon which embodiments of the present invention improves is disclosed in U.S. Pat. No. 4,759,667, for example. Furthermore, a drilling tool having what is known as a four-surface ground section is also disclosed in U.S. Pat. No. 4,983,079.

【０００２】
  この種の回転工具は例えば特許文献１から明らかである。いわゆる４面研磨を有する穿孔工具は、さらに例えば特許文献２から明らかである。

[0005] The end surface of such drills having a multi-surface ground section typically has a first free surface segment adjoining the respective major cutting edge in the direction of rotation, said first free surface segment being oriented at a first clearance angle. Adjoining this is the second free surface segment which is oriented at a larger clearance angle. In the twist drill disclosed in U.S. Pat. No. 4,983,079, the first free surface segment runs along the entire major cutting edge. Two major cutting edges are thereby connected to one another via a chisel edge. To improve the cutting properties, according to U.S. Pat. No. 4,759,667 the first free surface segment is fashioned to be approximately triangular, with increasing width towards the circumference of the drilling tool. The first free surface segment begins not at the brad point, as is the case with conventional four-surface grinding, but rather radially distant from this point at the end of the chisel edge.

【０００３】
  多面研磨を有するこの種のドリルの正面は、一般的にそれぞれの主切れ刃に隣接して回転方向に第１逃げ角で配置される第１逃げ面部分を備える。これに大きな第２逃げ角で配置される第２逃げ面が隣接する。その場合、特許文献２から明らかなツイストドリルにおいて、第１逃げ面部分はそれぞれ主切れ刃全体に沿って延びる。その場合、２つの主切れ刃は横切れ刃を介して互いに連結される。切削特性を改善するために、第１逃げ面部分は、特許文献１に基づいて穿孔工具の円周に対して増大する幅を有するほぼ三角形状に形成される。その場合第１逃げ面は、通常の４面研磨におけるように中央先端において始まるのではなく、半径方向に中心先端から距離を置いて横切れ刃の端末において始まる。

US10589364(JP)

The present invention relates to a drill including a tip cutting edge provided at a tip end thereof and a main cutting edge continuous to a rearward of the tip cutting edge.

本発明は、先端に設けられた先端切れ刃とその後方に連なるメイン切れ刃とを備えたドリルに関する。

BACKGROUND ART

Conventionally, there is known a drill in which a point angle of a cutting edge decreases from a tip end toward a rear end of the cutting edge (e.g., refer to Patent Literature 1 and 2). In the drill in Patent Literature 1, the point angle of the cutting edge is an acute angle and decreases in two steps. The point angle on the tip end side is approximately 70° while the point angle on the rear end side is approximately 20°.

【背景技術】
【０００２】
  従来、切れ刃の先端角が、切れ刃の先端から後端にかけて減少しているドリルが知られている（例えば、特許文献１及び２参照）。特許文献１のドリルでは、切れ刃の先端角が鋭角であって、先端角が２段階で減少しており、先端側の先端角を７０°程度として、後端側の先端角を２０°程度としている。

According to Patent Literature 1, when a drilled hole penetrating a wall material is to be provided, a large part of the drilled hole is efficiently drilled by the tip end side of the cutting edge having the larger point angle, and at the last step, the hole is cut and broadened by the rear end side of the cutting edge having the smaller point angle without causing breakage, enabling to provide an accurate through hole.

【０００３】
  これによれば、壁材に貫通した穿孔を設ける際に、穿孔の大半は先端角の大きい切れ刃の先端側によって能率的に切削を行い、最終段階において、先端角の小さい切れ刃の後端側によって、破断を生じさせることなく切り拡げて正確な貫通孔を設けることができるとされている。

Also, in the drill in Patent Literature 2, the point angle of the cutting edge continuously (smoothly) decreases from the tip end (center position) toward the rear end (maximum diameter position) of the cutting edge, and a clearance angle of the cutting edge continuously decreases from the center position toward the maximum diameter position. According to Patent Literature 2, while abrasion resistance of the cutting edge is improved, the part at the maximum diameter position forms a cutting edge portion for reaming, which enables to conduct reaming by means of the cutting edge.

【０００４】
  また、特許文献２のドリルでは、切れ刃の先端角が切れ刃の先端（中心位置）から後端（最大径位置）にかけて連続的に（滑らかに）減少するとともに、切れ刃の逃げ角が中心位置から最大径位置にかけて連続的に減少している。これによれば、切れ刃の耐摩耗性を向上させながら、最大径位置においてリーミング用の切刃部を形成し、切れ刃によるリーマ仕上げができるとされている。

Also, for a flank 16 of the main cutting edge 10, a second clearance angle in the radial direction is 20°, a third clearance angle in the radial direction is 40°, a second clearance angle in the axial direction is 10°, and a third clearance angle in the axial direction is 15°. As a rake angle of the main cutting edge 10, an angle such as around 0° is selected. However, the clearance angles and the rake angle are not limited to these values and are arbitrarily determined in consideration of the drilling efficiency, the operability, the drilling accuracy, and the like.

  また、メイン切れ刃１０の逃げ面１６についての径方向の２番逃げ角は２０°、３番逃げ角は４０°、軸方向の２番逃げ角は１０°、３番逃げ角は１５°とされる。メイン切れ刃１０のすくい角としては、例えば０°前後の角度が選択される。ただし、逃げ角やすくい角は、これらの値に限定されず、穿孔効率、操作性、穿孔精度などを考慮して、任意に決定される。

 

逃げ：relief, clearance

逃げ角：angle of relief, clearance angle

逃げ面：flank, clearance face

ねじれ角：helix angle

先端角：point angle

A Bit about Twist Drills, Canadian Woodworking and Home Improvement

Drill Terminology and Cutting Characteristics, Mitsubishi Materials

基板の搬入、搬出

US2005255253
25. An apparatus for curing ink, comprising:
a chamber having:
an electron beam emitter adapted to emit an electron beam;
an electron beam emitter positioning device, wherein the electron beam emitter positioning device is adapted to support the electron beam emitter at a distance above a surface of a substrate containing ink and move the electron beam emitter so as to scan an electron beam over the surface of the substrate and cure ink present on the substrate.
an ozone detector adapted to detect a level of ozone in the ink curing chamber;
a controller coupled to the ozone detector and adapted to receive a signal from the ozone detector, determine if the level of ozone is above a predetermined level, and if so activate at least one of purging the ink curing chamber and turning off the electron beam;
an x-ray detector coupled to the controller and adapted to detect a level of x-ray leakage from the ink curing chamber, wherein the controller is adapted to receive a signal from the x-ray detector, determine if the level of x-ray leakage is above a predetermined level, and if so initiate turning off the electron beam;
an interlock system coupled to the controller and adapted to detect an open or unlocked condition of a door of the ink curing chamber, wherein the controller is adapted to receive a signal indicating whether the door of the ink curing chamber is open or unlocked and, if so, initiate turning off the electron beam; and
a purging system coupled to the controller and adapted to purge the ink curing chamber with an inert gas in response to an activation signal from the controller,
wherein the electron beam emitter positioning device is adapted to remain at a constant z-axis position during substrate load/unload operations,
wherein the apparatus further includes a stage adapted to support the substrate, and
wherein the stage is adapted to be lowered so as to allow stationary lift pins to protrude through the stage, support the substrate, and provide clearance above and below the substrate when the stage is lowered.

【請求項２５】
  電子ビームを送出する電子ビーム送出器と、
  電子ビーム送出器の位置決め装置と
を有し、
  前記電子ビーム送出器の位置決め装置はインクの載った基板の表面上の所定の距離のところで前記電子ビーム送出器を支持し、前記基板の前記表面にかけて電子ビームを走査し、前記基板上にあるインクをキュアするように、前記電子ビーム送出器を動かし、
  前記インク・キュアリング・チャンバ内のオゾンのレベルを検出するオゾン検出器と、
  前記オゾン検出器に接続され、前記オゾン検出器からの信号を受信し、前記オゾンのレベルが所定のレベルより大きいかどうかを決定し、もしそうであれば、前記インク・キュアリング・チャンバをパージするか、前記電子ビームをオフ状態にするかの少なくともいずれか１つを起動するコントローラと、
  前記コントローラに接続され、前記インク・キュアリング・チャンバからのＸ線漏れのレベルを検出し、前記コントローラは前記Ｘ線検出器からの信号を受信し、前記Ｘ線の漏れのレベルが所定のレベルより大きいかどうかを決定し、もし大きければ前記電子ビームをオフ状態にするＸ線検出器と、
  前記コントローラに接続され、前記インク・キュアリング・チャンバのドアの開閉若しくはアンロック状態を検出し、前記コントローラは前記インク・キュアリング・チャンバの前記ドアが開いているか又はアンロック状態であるかどうかを示す信号を受信し、もしそうであれば前記電子ビームをオフ状態とするインターロック・システムと、
  前記コントローラに接続され、前記コントローラからの起動信号に応じて、不活性ガスにより前記インク・キュアリング・チャンバをパージするパージング・システムと、
  を備え、
  前記電子ビーム送出器の位置決め装置は基板の搬入・搬出動作の間、固定のＺ軸の位置に止まり、
  前記装置は更に前記基板を支持するステージを含み、
  前記ステージは前記ステージを介して固定のリフトピンが突出することを許容し、前記基板を支持し、前記ステージが降下するときに前記基板の上及び下のクリアランスをもたらすように低くなる
  インクをキュアリングするための装置。

US10358715
The chamber body 302 may be manufactured from a material suitable to withstand temperatures of up to about 300° C. For example, the chamber body 302 may be formed from aluminum, alloys thereof, stainless steel, and other suitable metallic materials. A slit valve opening 360 is formed in the chamber body 302 to allow for ingress and egress of a substrate to and from the process volume 310. A slit valve door 358 is coupled to the chamber body 302 and may be moveable to seal and unseal the slit valve opening 360. In one embodiment, the slit valve door 358 is formed from the same materials as the chamber body 302. Alternatively, the slit valve door 358 may be formed from materials different form the chamber body 302.

チャンバ本体３０２は、約３００°Ｃまでの温度に耐える適切な材料から製造されていてよい。例えば、チャンバ本体３０２は、アルミニウム、その合金、ステンレス鋼、及び他の適切な金属材料から形成されていてよい。チャンバ本体３０２内にスリットバルブ開口部３６０が形成され、処理空間３１０との間の基板の搬入と搬出を可能にする。スリットバルブドア３５８が、チャンバ本体３０２に連結されており、スリットバルブ開口部３６０を封止及び開封するために可動であってよい。一実施形態では、スリットバルブドア３５８は、チャンバ本体３０２と同じ材料から形成されている。代わりに、スリットバルブドア３５８は、チャンバ本体３０２とは異なる形態の材料から形成されていてもよい。

US10431480
Continuing to refer to FIG. 1, the processing chambers 108, the rotation module 106, the transfer chambers 104a, 104b, and the load lock chamber 110 are connected to form a vacuum tight platform 116. One or more pump systems 118 are coupled to the load lock chamber 110, the transfer chambers 104a, 104b, the rotation module 106, and the processing chambers 108. In FIG. 1, a single pump system 118 is shown coupled to the load lock chamber 110 to avoid drawing clutter. The pump system 118 controls the pressure within the processing system 100. The pump system 118 may be utilized to pump down and vent the load lock chamber 110 as needed to facilitate entry and removal of substrates from the vacuum tight platform 116.

  ［００２２］  図１の参照を続けると、処理チャンバ１０８、回転モジュール１０６、移送チャンバ１０４ａ、１０４ｂ、及びロードロックチャンバ１１０が接続されて、真空気密プラットフォーム１１６を形成する。１つ以上のポンプシステム１１８が、ロードロックチャンバ１１０、移送チャンバ１０４ａ、１０４ｂ、回転モジュール１０６、及び処理チャンバ１０８に連結される。図１において、図面が乱雑になるのを回避するため、１つのポンプシステム１１８だけが、ロードロックチャンバ１１０に連結されているのが示される。ポンプシステム１１８は、処理システム１００内の圧力を制御する。ポンプシステム１１８は、真空気密プラットフォーム１１６への基板の搬入及び搬出を容易にするため、必要に応じて、ロードロックチャンバ１１０をポンプダウンし通気するために利用され得る。

WO2013120054
 [120] The processing apparatus described herein may also be configured to allow entry/exit of substrates to/from the processing apparatus in more than one location in the processing apparatus. For example, referring to Fig. 23A, an EFEM 2060A, 2060B may be connected to both ends of the transport tunnel formed by the vacuum modules 2040A, 2040B, 2040C, the vacuum tunnel 2010 and the automation modules 2030A, 2030B. Here, in one aspect, substrates may enter the processing apparatus through EFEM 2060A and exit through EFEM 2060B or vice versa. In other aspects the substrates may enter and exit through any one or more of EFEM 2060A and 2060B. Referring also to Fig. 23B an entry/exit point for adding/removing substrates to/from the processing apparatus may also be located between the ends of the transport tunnel. For example, vacuum modules, such as vacuum module 2040', may be added to the transport tunnel to allow connection of an EFEM 2060C at a midpoint, or at any other point between the ends of the transport tunnel. Here, in one aspect, substrates may enter the processing apparatus through EFEM 2060A and exit through EFEM 2060B and/or EFEM 2060C; enter the processing apparatus through EFEM 2060B and exit through EFEM 2060A and/or EFEM 2060C; enter the processing apparatus through EFEM 2060C and exit through EFEM 2060A and/or EFEM 2060B. In other aspects the substrates may enter or exit through any one or more of EFEM 2060A, 2060B and 2060C to form any suitable process flow through the processing apparatus .

 本明細書に記載される処理装置は、処理装置の２つ以上の場所での、処理装置への／処理装置からの基板の搬入／搬出を可能にするように構成されてもよい。例えば、図２３Ａを参照すると、ＥＦＥＭ２０６０Ａ、２０６０Ｂは、真空モジュール２０４０Ａ、２０４０Ｂ、２０４０Ｃ、真空トンネル２０１０および自動化モジュール２０３０Ａ、２０３０Ｂによって形成される搬送トンネルの両端に接続され得る。ここで、一態様において、基板は、ＥＦＥＭ２０６０Ａを通して処理装置に入り、ＥＦＥＭ２０６０Ｂを通して処理装置を出てもよく、逆の場合も同様である。別の態様において、基板は、ＥＦＥＭ２０６０Ａ、ＥＦＥＭ２０６０Ｂの任意の１つまたは２つ以上を通して出入りし得る。また、図２３Ｂを参照すると、処理装置から／処理装置へ、基板を、追加／除去するための搬入／搬出点も、搬送トンネルの端部間に位置付けられ得る。例えば、真空モジュール２０４０’などの真空モジュールは、搬送トンネルの中間点、または搬送トンネルの端部間の他の任意の点でのＥＦＥＭ２０６０Ｃの接続を可能にするために、搬送トンネルに加えられ得る。ここで、一態様において、基板は、ＥＦＥＭ２０６０Ａを通して処理装置に入り、ＥＦＥＭ２０６０Ｂおよび／またはＥＦＥＭ２０６０Ｃを通して出てもよいし、ＥＦＥＭ２０６０Ｂを通して処理装置に入り、ＥＦＥＭ２０６０Ａおよび／またはＥＦＥＭ２０６０Ｃを通して出てもよいし、ＥＦＥＭ２０６０Ｃを通して処理装置に入り、ＥＦＥＭ２０６０Ａおよび／またはＥＦＥＭ２０６０Ｂを通して出てもよい。別の態様において、基板は、ＥＦＥＭ２０６０Ａ、２０６０Ｂ、２０６０Ｃの任意の１つまたは２つ以上を通して出入りしてもよく、処理装置を通る任意の適切なプロセスの流れを形成する。

US7806383
Substrates are typically transferred into and out of the process chamber 104 as the substrate moves through a desired fabrication sequence. For example, a transfer chamber 102 may be coupled to the process chamber 104 to facilitate placing a substrate on, or removing the substrate from, the substrate support 118. An opening 106 is disposed in respective adjacent walls of the transfer chamber 102 and the process chamber 104 to facilitate transfer of a substrate into and out of the process chamber 104. A valve assembly 108 is disposed proximate the opening 106 to facilitate selectively sealing the opening 106.

基板は所要の製造シーケンスに従い進むにつれ、典型的にはプロセスチャンバ１０４へと搬送され、又、そこから搬出される。例えば、搬送チャンバ１０２は、基板支持体１１８上に基板を載置するために、若しくは、そこから基板を取り除くために、プロセスチャンバ１０４に結合される。開口１０６はプロセスチャンバ１００への基板の搬入、及び、そこからの基板の搬出を行うために、搬送チャンバ１０２及びプロセスチャンバ１０４のそれぞれ近傍の壁に設けられる。バルブアセンブリ１０８は開口１０６の選択的に密閉状態にするために、開口１０６の近傍に設けられる。