US9862554
[0288] FIG. 86 illustrates an embodiment of an integration scheme of a “bucket-brigade” 8610 linear group, a wafer transport shuttle system 8620 and traditional cluster tool systems 8630 .
【0172】
図86は、「バケツリレー」型線形グループ8610、ウェハ搬送シャトルシステム8620、および従来のクラスターツールシステム8630の集積スキームの実施形態を示している。
More generally, any combination of traditional cluster tools 8630 , linear “bucket-brigade” systems 8610 and shuttle systems 8620 is possible.
より一般的には、従来のクラスターツールシステム8630、線形「バケツリレー」型システム8610、およびシャトルシステム8620の任意の組み合わせが可能である。
In one application, short processes on the cluster tool can be combined with longer processes in the bucket brigade to improve per-tool utilization within the system.
ある応用において、クラスターツールの短いプロセスは、バケツリレーにおいて、より長いプロセスと組み合わせることができ、システム内の各々のツールの稼働率を向上させる。
US2021195308
In a preferred embodiment these capacitor elements are arranged as a bucket brigade circuit.
好ましい実施形態では、これらのコンデンサ要素は、バケツリレー回路として配置される。
Capacitor elements of such an array can differ in size and/or shape (e.g. at least one dimension) and can differ in composition from one another.
そのようなアレイのコンデンサ要素は、サイズおよび/または形状(例えば、少なくとも1つの次元)が異なり得るとともに、互いに構成が異なり得る。
In some embodiments the processor is also in communication with a light source.
いくつかの実施形態では、プロセッサはまた、光源と通信している。
US8855446
In an aspect, the 8 pixel registers 202 -x forming the pixel window register 202
ある態様では、ピクセルウィンドウレジスタ202を形成する8個のピクセルレジスタ202-xは、
can be configured to be loadable in parallel, to have parallel outputs,
パラレルにロード可能なように、パラレルな出力を有するように構成されてよく、
and be configured to be selectively shifted, in unison in a bucket-brigade manner, for example in a “direction” shown as right-to-left in FIG. 2.
たとえば、図2で右から左として示されるような「方向」に、バケツリレー方式で一緒に、選択的にシフトされるように構成され得る。