端面窓

US2020006921(JP)
By forming the windows with the vacancy diffusion method, first vacancy diffusion region 510 is formed on front end face 1 a ′ side, and second vacancy diffusion region 520 is formed on rear end face 1 b 's side as the end window structure, as illustrated in FIG. 5.
空孔拡散法によって窓形成を行うことで、図５に示すように、端面窓構造として、前端面１ａ側には第１空孔拡散領域５１０が形成され、後端面１ｂ側には第２空孔拡散領域５２０が形成される。

In FIG. 5, regions indicated by broken lines are first vacancy diffusion region 510 and second vacancy diffusion region 520 .
なお、図５において、破線で示される領域が第１空孔拡散領域５１０及び第２空孔拡散領域５２０を示している。

US10554013(JP)
[0035] The facet window structure 180 is formed between the outputting slab waveguide 143 and the output facet 120 a , and does not have a light confinement structure in the layer surface direction, and thus has a structure in which a capability of confining light in the layer surface direction (i.e., in the vertical direction of the plane of FIG. 2) is less than that of the outputting slab waveguide 143 .
【００３３】
  端面窓構造部１８０は、出力側スラブ導波路１４３と出力端面１２０ａとの間に形成され、積層面方向の光閉じ込め構造を有さず、かつ出力側スラブ導波路１４３よりも積層方向（図２中紙面垂直方向）の光閉じ込めが弱い構成となっている。

Specifically, the facet window structure 180 is formed by removing a waveguide core layer near the output facet 120 a .
具体的には、出力端面１２０ａ付近の導波路コア層を除去することによって形成されている。

By using the window structure, it is possible to prevent an occurrence of astigmatism between the layer surface direction and the layer direction when the beam is combined by a lens system after the chip is cleaved and the cleavage position deviates from the focal position of the beams in the layer surface direction of the AWG 140 .
窓構造を用いることで、チップのへき開時に、ＡＷＧ１４０の積層面方向のビームの焦点位置からへき開位置がずれ、レンズ系で結合させた際に、積層面方向と積層方向とで非点収差が生じることを避けることができる。

Furthermore, the output facet 120 a is provided with a low reflecting coating to reduce the reflectivity. The reflectivity can further be reduced by providing the facet window structure 180 .
さらに、出力端面１２０ａには反射率を低減するため、低反射コートが施されるが、端面窓構造部１８０を設けることによって、反射率をさらに低減することができる。

Note that it is preferable that the length of the facet window structure 180 in a light waveguide direction in which the light is guided be greater than or equal to 10 μm and less than or equal to 20 μm in terms of the deviation of the cleavage position.
なお、端面窓構造部１８０の光導波方向における長さは、へき開の位置ずれの観点から１０μｍ以上２０μｍ以下であることが好ましい。

Furthermore, the facet window structure 180 is formed so that the window structure starts from the position at which the beam is collected.
そして、端面窓構造部１８０は、ビームが集光される位置から窓構造が始まるように構成されている。

US10971898(JP)
[0145] In the present embodiment, the stacked structure of semiconductor laser device 1 has window-mirror structures in both end portions in the lengthwise direction of the resonator.
【０１１１】
  本実施の形態において、半導体レーザ装置１の積層構造体は、共振器長方向の両端部に端面窓構造を有する。

Specifically, windows are formed in a region having length df from front end face 1 a and a region having length dr from rear end face 1 b in current noninjection regions close to both end faces of the optical waveguide in active layer 300 , as illustrated in FIG. 3.
具体的には、図３に示すように、活性層３００における光導波路の両端面近傍の電流非注入領域では、前端面１ａから長さｄｆの領域及び後端面１ｂから長さｄｒの領域に窓形成が行われている。

端面窓構造：

window mirror structure, Optipedia

window-mirror structure, DVD記録用赤色LDの高出力化への取り組み、坂本善史善史、生産と技術 　第62巻　第２号（2010）