US11492697(APPLIED MATERIALS INC [US])
[0028] In some embodiments, a distance between the target 138 and the substrate support 124 is about 60.0 mm to about 160.0 mm when the substrate support 124 is in a processing position.
【0023】
いくつかの実施形態では、基板支持体124が処理位置にあるときのターゲット138と基板支持体124の間の距離が約60.0mm~約160.0mmである。
In some embodiments, a distance 158 between the target 138 and the substrate 122 when the substrate support 124 is in a processing position is about 90.0 mm to about 110.0 mm.
いくつかの実施形態では、基板支持体124が処理位置にあるときのターゲット138と基板122の間の距離158が約90.0mm~約110.0mmである。
The inventors have observed that the shorter spacing between the target 138 and the substrate 122 increases contamination and re-sputtering issues because of a shrinking anode surface area.
ターゲット138と基板122の間の間隔を短くすると、アノード表面積が縮小するために、汚染および再スパッタリングの問題が増大することを本発明の発明者は認めた。
Increasing the surface area of the anode without increasing the spacing between the target 138 and the substrate 122
ターゲット138と基板122の間の間隔を増大させることなくアノードの表面積を増大させると、
advantageously provides the benefits of the shorter spacing between the target 138 and the substrate 122 while decreasing contamination and re-sputtering issues.
ターゲット138と基板122の間の間隔が短いことの利点が有利に提供され、同時に、汚染および再スパッタリングの問題が縮小する。
US2021386340(ABBOTT DIABETES CARE INC [US])
In some embodiments, a series of droplets may be applied atop one another to achieve the desired thickness of the active area and/or membrane, without substantially increasing the diameter of the applied droplets (i.e., maintaining the desired diameter or range thereof).
一部の実施形態では、望ましい厚みの活性区域及び/又は膜を達成するために、一連の小滴をそれらの直径を実質的に増大させることなく(すなわち、望ましい直径又はその範囲を維持しながら)互いの上に付加することができる。
Each single droplet for example may be applied and then allowed to cool or dry, followed by one or more additional droplets.
例えば、各単一小滴を付加し、次に、それを冷却又は乾燥させ、それに1又は2以上の追加の小滴を続けることができる。
Active areas and membrane may, but need not be, the same thickness throughout or composition throughout.
活性区域及び膜は、全体を通して同じ厚み又は組成とすることができるが、そうである必要はない。
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