EP2975630
[0017] In yet another aspect of the invention, detectors are provided to detect X-rays, light, or both.
【0019】
本発明の他の態様では、X線もしくは光またはX線と光の両方を検出する検出器が提供される。
Detectors may be positioned at the side of the column near the sample and oriented generally toward the intersection of the primary beam and the sample surface.
検出器は、カラムの側部の試料の近くに、概ね1次ビームと試料表面の交点の方に向けて配置することができる。
One, two three, four, or more detectors can be positioned around the optical axis.
光軸を囲む1つ、2つ、3つ、4つまたはそれよりも多くの検出器を配置することができる。
Portions of the final electrode in the final lens may fall along the line-of-sight between the detectors and the sample.
最終レンズ内の最終電極の一部が、検出器と試料の間の見通し線にかかることがある。
By providing a transmissive final lens element, the final lens element can be positioned closer to the sample, thereby decreasing the working distance while still allowing emissions to reach one or more detectors.
透過性の最終レンズ要素を提供することにより、試料のより近くに最終レンズ要素を配置することができ、それによって作動距離を短くし、同時に、1つまたは複数の検出器に放出が到達することを可能にすることができる。
By providing transmissive elements, the elevation angle between the sample and the detector can be increased because a line of sight from the sample to the detector is no longer required to extend under the final lens element.
透過性の要素を提供することにより、試料から検出器までの見通し線が最終レンズ要素の下に延在する必要がなくなるため、試料および検出器の間の仰角を大きくすることができる。
Moreover, the acceptance angle of the detector can be increased.
さらに、検出器の取り込み角(acceptance angle)を大きくすることができる。
The acceptance cone that defines the emissions from the sample that will fall on the detector can pass through the transmissive portion of the lens elements, allowing higher elevation angles and larger acceptance angles.
検出器に入射する試料からの放出を規定する取り込み円錐はレンズ要素の透過性部分を通ることができ、これによってより大きな仰角およびより大きな取り込み角が可能になる。
US10475655
[0039] After the deposition cycles, the substrates were transferred in-situ to the ultra-high vacuum chamber for XPS and STM analysis.
【0022】
[0039]堆積サイクルの後、基板はインシトゥでXPS及びSTM解析のために超高真空チャンバへ移送された。
For the XPS measurement, the X-rays were generated by an Al Kα anode (1486.7 eV).
XPS測定において、X線はAl Kαアノード(1486.7eV)によって生成された。
XPS data was acquired using constant analyzer-energy (CAE) with a step width of 0.1 eV and a pass energy of 50 eV.
XPSデータは、0.1eVのステップ幅と50eVのパスエネルギーを有するconstant analyzer-energy(CAE)を使用して取得された
The XPS detector was positioned at 60° to the substrate normal (30° take-off angle from the substrate surface) with a detector-acceptance angle of 7°.
XPS検出器は、基板の常態に対して60°(基板表面から30°の取り出し角)に位置づけされ、検出器の取り込み角は7°であった。
WO2019147346
[0028] The camera system 185 may be deployed in different locations within a tank 180.
【0023】
[0028] カメラシステム185は、タンク180内の異なる場所に配備することができる。
In general, the camera system 185 may be located at a position in the tank 180
一般に、カメラシステム185は、タンク180内のある位置に配置され得、
that enables images of good quality, e.g., clear images of fish without blurriness and optimal capture angle and view, to be captured by the camera system 185.
それにより、良質の画像、例えば、ぼやけのない鮮明な魚の画像、並びに最適な取り込み角度及び視界がカメラシステム185により取り込まれるのを可能にする。
For example, as illustrated in FIGS. 1A and 1 B, the camera system 185 may be located in a relatively central location of the tank 180.
例えば、図1A及び1Bに示すように、カメラシステム185は、タンク180の比較的中央の場所に配置され得る。
The camera system 185 may be held in position in the tank 180 in various ways such as by using a surface buoy, sub- surface buoys, fixed structures, or cable lines.
カメラシステム185は、水面ブイ、水面直下ブイ、固定構造体、又はケーブル線を使用することによるなどの様々な方法で、タンク180内の適所に保持することができる。
EP1832929
where n is the index of refraction of the immersion fluid and a is the acceptance angle of the lens.
(式中、nは液浸液の屈折率であり、αはレンズの取り込み角である)。