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プリンターのインクジェット方式を応用し、タッチパネルなどに必須な半導体の薄膜を製造する技術を、茨城県つくば市の産業技術総合研究所と高エネルギー加速器研究機構が共同開発した。元素が整然と並ぶ単結晶の薄膜印刷に世界で初めて成功した。7月14日、英科学誌ネイチャー電子版に掲載された。
従来の印刷法は単結晶ではないため表面がでこぼこし、性能に問題があった。今回の技術では、装置の小型化などにつながる電気的特性を従来の印刷法に比べ100倍以上に高めることができた。常温・常圧で製造できるため基板にプラスチックを使用できる。産総研などが開発した金属配線を薄膜に印刷する技術と複合すると、曲がるディスプレーなどを製造でき、すぐに産業に応用可能という。
開発したのは、半導体の結晶化を促す有機溶剤のインクと、有機半導体を溶解させたインクをミクロの液滴で交互に吹き付けるインクジェット印刷法。蒸発するときに2種のインクが混合した液体と気体の境目だけで結晶が成長する。半導体層の全体が均一な厚みとなるのが特徴。厚みは最小で30ナノメートル(ナノは10億分の1)を達成した。(毎日新聞 2011年7月14日)
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参考HP 産業総合技術研究所 世界最高性能の有機薄膜トランジスタを実現
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