宇宙航空研究開発機構(JAXA)は少量生産システム(ミニマルファブ)による宇宙用集積回路製造の実現を目指しているが、このたび、1000トランジスタ規模の集積回路(4ビットシフトレジスタおよびI/O回路)を設計し、産業技術総合研究所(産総研)が開発した実用SOI-CMOS 2層アルミ配線プロセス技術Technology 2018を用いて試作、その動作実証に成功した。
今回の成果により、宇宙機向けの少量多品種集積回路を短期間で製造できるミニマルファブ方式の有効性が確認できた。今後は実用化に向けた検討を行く。
また、産総研は宇宙機だけでなく、産総研が目標とするミニマルファブによるIoTデバイスの実現など、今後ミニマルファブを広範な産業分野へ適用するよう、応用開発を加速して行く。
今回の研究で、(1)速い装置動作、(2)ユーザーインターフェースの統一、(3)フルオート装置動作、(4)クリーンルームフリーというミニマルファブの新しい機能によって、回路設計者が一人で自らデバイス製造を行えることが実証された。これは半導体産業において一人でハイテクを全て使いこなすという新しい世界を切り拓く重要な成果。