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ここがすごい!進化するLSI!短波長レーザーリソグラフィ、CNTや光配線など...LSIのできるまで

2016年04月23日 | サイエンスジャーナル

 ここがすごい!進化するLSI

 LSIとは、IC(集積回路)のうち、素子の集積度が1000個~10万個程度のもの。また、単にICの同義語。

 1970年代にそれまでの初期のICから飛躍的に集積度が高まった技術や製品を区別するために生まれた呼称だが、現在では「IC」という語と同じく単に半導体集積回路一般を指す言葉として使われている。

 時代が下り、集積度が10万を超えるものをVLSI、1000万を超えるものをULSIと呼んで区別した時代もあったが、21世紀に入ってからはこうした区別もほとんど使われなくなった。

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参考 JSITA半導体部会:先端の半導体技術は今 ルネサス:半導体ができるまで

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