第一施設工業の非接触搬送装置開発物語

クリーンルーム内で稼働するリフターのシェア90％
半導体製造を陰で支えるナンバー１企業


半導体の大家も思わずうなった
第一施設工業の非接触搬送技術

　「こういう方法があったのか。これは気付かなかった」
　東北大学工学部・大見忠弘教授は第一施設工業の非接触搬送装置を目の当たりにして思わずうなった。
　東北大学の大見忠弘といえば日本の、いや世界の半導体業界でも知らぬ人がいないくらいの有名人である。大学教授でありながら700件を超える特許を出願しているし、東北大学のスーパークリーンルーム建設委員長を務めたこともある。というより、「インテルを立ち直らせた男」としての方が知られているだろう。
　87年に大見が発表したスーパークリーンルームに関する論文を見たインテルが、指導を受けたいと大見本人を本社に招待し、レクチャーを受けたのは有名な話だ。
　当時、アメリカの半導体製造は不良率が高く、歩留まり20～30％というのが一般的だった。ところが大見の指導の下、クリーンルームを建設し直したインテルの半導体は歩留まり率が85％に改善されたのだ。もし、この時大見のレクチャーを受けなかったら、恐らく現在のインテルはなかったに違いない。
　そこまで半導体製造に関することを知り尽くした大見が、第一施設工業の非接触搬送装置を見て感心したのである。
　実は、大見は以前、同社社長の篠原統から相談を受けたことがあった。
「非接触？　あれはダメだ。やめておけ」
　大見は「非接触」と聞いて、即座にそう答えたのだ。
「自分も非接触はやってみたがダメだ。あれは使い物にならない」
　半導体の大家からそう言われれば普通は諦めるところである。しかし、逆に篠原はその一言にファイトを燃やしたのだった。

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