ナノフッ素樹脂 ③

彦根藩二代当主である井伊直孝公をお寺の門前で手招き雷雨から救っ
たと伝えられる招き猫と、井伊軍団のシンボルとも言える赤備え（戦
国時代の軍団編成の一種、あらゆる武具を朱りにした部隊編成のこと
）と兜（かぶと）を合体させて生まれたキャラクタ－。

【季語と短歌：８月１１日】

❏　大面積ナノシート膜の高速成膜法

名古屋大学未来材料・システム研究所の長田実教授らの研究グループ
は、酸化物、酸化グラフェン、窒化ホウ素などの二次元物質（ナノシ
ート）の高速・大面積成膜法（自発集積転写法）の開発に成功。
【関連論文】
論文誌：Small　2024.7.18
タイトル：Ultrafast 2D Nanosheet Assembly via Spontaneous Spreading　
Phenomenon
DOI: 10.1002/smll.202403915
※名大、大面積ナノシートの高速成膜法「自発集積転写法」

❏　8K有機EL TV画面を駆動可能　高電子移動度の酸化物TFT 

北海道大学の研究グループは、電子移動度が78cm2/Vsで安定性に優れ
た「酸化物薄膜トランジスタ」を高知工科大学と共同で開発。次世代
8K有機ELテレビの画面を駆動することが可能となる。2024.8.9

現行の4K有機ELテレビでは、画面を駆動するのに酸化物IGZO薄膜トラ
ンジスタ（a-IGZO TFT）が用いられている。このトランジスタの電子
移動度は5～10cm2/Vs程度。ところが、次世代8K有機ELテレビの画面を
駆動しようとすれば、電子移動度が70cm2/Vs以上の酸化物薄膜トラン
ジスタが必要になる。活性層に酸化インジウム（In2O3）薄膜を用い
て、電子移動度が140cm2/VsというTFTを2022年に開発。ところが、空
気中における気体分子の吸着・脱離などによって、安定性（信頼性）
が極めて悪くなるため、実用化までには至らなかったという。

図１．気体分子の吸着でTFTの安定性が悪化する例

今回、空気中の気体が吸着しないよう、活性層薄膜の表面を保護
膜で覆うことにした。実験結果から、酸化イットリウムと酸化エ
ルビウムを保護膜にしたTFTは、極めて高い安定性を示すことが

分かった。

一方、酸化ハフニウムや酸化アルミニウムを保護膜としたTFTで
は、安定性が向上しなかった。電子顕微鏡を用いて原子配列を観
察したところ、酸化インジウムと酸化イットリウムは原子レベル
でピッタリ結合（ヘテロエピタキシャル成長）することが分かっ
た。これに対し、安定性が改善されなかったTFTは、酸化インジ
ウムと保護膜の界面がアモルファスになっていることを確認した。

図３　酸化インジウムTFTの信頼性試験結果（±20Vを1.5時間印加）［

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　この項つづく

　懐かしの映画音楽【映画：Rain Man】
1988年製作／134分／G／アメリカ、原題：Rain Man
高級外車ディーラーのチャーリーは、絶縁状態にあった父の訃報を聞
き、遺産目当てに帰省。ところが、遺産の300万ドルは全て匿名の人
物に相続されることとなっていたその人物が、今まで存在すら知らな
かった自閉症の兄レイモンドであると知った彼は、兄を病院から連れ
出しロスへと向かうが……。アカデミー賞主要4部門（作品・監督・
脚本・主演男優賞）他、多数の映画賞に輝いた、バリー・レビンソン
監督による感動作。